مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح

مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح اليپسومتري يک روش حساس و بسيار دقيق نوري مي باشد که در حدود صد سال است که براي بدست آوردن اطلاعاتي راجع به سطوح استفاده مي شود. اين روش بر پايه اين واقعيت شکل گرفته است که حالت پلاريزاسيون نور، هنگامي که اشعه نور از يک سطح منعکس… ادامه خواندن مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح