پاورپوینت کامل و جامع با عنوان سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) در 107 اسلاید (چند اسلاید به زبان انگلیسی می باشد)
حسگرها در سادهترین حالت خود با کمک اندازهگیری پدیدههایمکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمعآوری میکنند. پس از اخذ اطلاعات از حسکنندهها، دستگاههای الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیمگیری خود، محرکها را به پاسخهایی چون: حرکت، جابجایی، تنظیمکردن، پمپکردن و فیلترکردن وادار کرده، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت میکنند. از آنجا که دستگاههای MEMS همانند ICها با تکنیکهای ساخت ناپیوسته ساخته میشوند، میتوان سطح بسیار بالایی از کارکرد، اطمینان و پیچیدگی را با هزینه اندک بر روی تراشه کوچک سیلیکونی شکل داد. فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد، مثل: ۱. میکروسیستمهای واکنشهای زنجیرهای پلیمراز (PCR) برای تقویت و شناسایی DNA 2. میکروسکپهای تونلزنی پیمایشگر (STM) که با فرایندهای ماشینکاری میکرونی ساخته شدهاند ۳. تراشههای زیستی شناساگر عوامل خطرناک شیمیایی و ب …